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CRF plasma 等離子清洗機

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真空等離子清洗機有哪些地方是需要改善的呢

真空等離子清洗機工作原理:
       等離子體是物質的一種存在狀態(tài),通常物質以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態(tài)中存在下列物質:處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激(活)狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等,但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產品表面.以達到清洗目的。等離子體處理可以被納入導電、半導電以及非導電的應用中。等離子清洗表面的有效方法是去除雜質、污染物、殘留物和有(機)化合物。這一過程被稱為微清洗或蝕刻,為提高粘附力提供了另一個重要方面。另外,等離子體處理的表面活(化)很(快)速、有效、經濟、環(huán)保。
真空等離子清洗機
真空等離子清洗機處理產品的的散熱方式和改善措施:
  我們都知道,散熱的方式大致有四種:輻射、傳導、對流、蒸發(fā)。對于真空等離子清洗機的反應腔本體、電極板、托架以及附件的散熱,主要是靠傳導散熱和輻射散熱,少量的對流散熱。
  1. 真空等離子清洗機的反應腔室本體一般都是鋁或不銹鋼的材質,電極板基本上采用鋁合金,這兩部分在等離子體處理產品的時候吸收了大量的熱,不加配套設施的情況下,就會以傳導的方式和熱射線的形式散發(fā)給周圍溫度較低的物體,例如機臺緊固件、外殼和低溫空氣中。
  改善措施:給電極和反應腔室增加冷卻系統(tǒng),例如電極采取蛇形管貼附或者中通冰水的方式,可以大大改善散熱效(果)。
  2. 真空狀態(tài)下氣體往往以擴散方式進行,很難形成對流;真空等離子清洗機腔室內的熱量,由真空泵帶走的也是比較有限。
  改善措施:加(大)進氣量或提高抽速,但要考慮放電的真空度和等離子處理效(果)。
  其他方面,等離子發(fā)生器的選型、功率大小的設定、真空腔室大小和電極結構的設計等,對于散熱問題的改善也是有幫助的。

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