型號(hào)：CRF-APO-R＆D-DXX

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：1000W/25KHz（Option）

處理高度：5-15mm

處理寬幅：直噴式：1-6mm（Option）

工作氣體：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型號(hào)：CRF-APS-500W

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：1000W/13.56MHz

處理高度：1-8mm(MAX)

處理寬幅：120-2000mm(Option)

工作氣體：AR+O2

型號(hào)：CRF-VPO-8L-S

外接電源：380V/AC,50/60Hz, 7kw

等離子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔體容量：80L(可定制)

腔體層數(shù)：8層(可定制)

工作氣體：Ar、N2、H2、CF4、O2

型號(hào)：CRF-APO-500W-XN

外接電源：380V/AC,50/60Hz

等離子功率：10KW(Max)/ 40KHz(Option)

處理高度：3-8mm(MAX)

處理寬幅：120-1200mm(Option)

工作氣體：N2/N2+CDA

型號(hào)：CRF- APO-500W-C/W-S (非標(biāo)準(zhǔn)定制)

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：4set*600W/25KHz(Option)

處理高度：5-15mm

處理寬幅：500mm(Option)

工作氣體：Compressed Air(0.4mpa)

型號(hào)：CRF-APO-500W-C

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：2set*600W/25KHz(Option)

處理高度：5-15mm

處理寬幅：50-500mm(Option)

工作氣體：Compressed Air(0.4mpa)