除氣體分子、離子和電子外，等離子體中存在電中性原子或原子團(tuán)(也稱為自由基)，這些原子是受勢(shì)能激發(fā)的，處于激發(fā)態(tài)的電中性原子團(tuán)。其波長(zhǎng)短，勢(shì)能搞得紫外光在等離子體與材質(zhì)外表面相互作用中具有重要作用。以下小編分別就等離子體的作用進(jìn)行介紹。 

      原子團(tuán)等自由基對(duì)材料外表面的反應(yīng)，由于這些自由基具有電中性，在等離子體中存在時(shí)間較長(zhǎng)，其數(shù)量比離子多，所以自由基在等離子體中起著重要作用。自由基的作用主要是化學(xué)反應(yīng)過程中勢(shì)能傳遞的（激）活，處于（激）活狀態(tài)的自由基具有較高的勢(shì)能，因此在與材料外表面分子相結(jié)合時(shí)容易形成新的自由基，新形成的自由基也同樣的處于不穩(wěn)定的高能量形態(tài)，分解反應(yīng)的可能性很高，在變成小分子的同時(shí)形成新的自由基，這種反應(yīng)過程可以繼續(xù)進(jìn)行，分解成水、二氧化碳等簡(jiǎn)單分子，在其他情況下，自由基與材料外表面分子相結(jié)合，形成大量的的相結(jié)合勢(shì)能，這種勢(shì)能又變成引起新表面反應(yīng)的驅(qū)動(dòng)力，進(jìn)而引起材料外表面材質(zhì)的化學(xué)反應(yīng)而被去除。

         電子對(duì)材料外表面的作用。材料外表面一方面受撞擊作用，會(huì)促使吸附在材料外表面的氣體分子被分解或吸附，另一方面大量的電子碰撞則有助于化學(xué)反應(yīng)。因?yàn)殡娮拥馁|(zhì)量很小，所以比離子運(yùn)動(dòng)得更快。用等離子體處理時(shí)，電子到達(dá)材料外部表面層的時(shí)間早于表面層，并使表面層帶負(fù)電荷，這有助于更進(jìn)一步引起反應(yīng)。
        小編從微觀上講解了等離子體與材料外表面相互作用。